GUIDES D`ONDE OPTIQUES - Eco-Conception des Polymères

PROCEDE UTILISE
EN SALLE BLANCHE
POUR LA REALISATION DE
GUIDES D’ONDE OPTIQUES
Présentation des équipes
GMNP
Groupe Matériaux Nanostructurés et
Photonique
Élaboration de matériaux nanostructurés à base
de silicium poreux
Réalisation technologique de guides d’onde
passifs et actifs
CCLO
Centre Commun Lannionnais d’Optique
Recherche technologique pour des fonctions
optiques intégrées à base de polymères
Plan
1. Personnes habilitées à travailler en SB
2. Domaines d’activités
3. Présentation de la salle blanche
4. Moyens matériels
5. Technologies employées
6. Exemples de fonctions réalisées
1. Personnes habilitées à travailler en SB…



Chercheurs, Enseignant-chercheurs, Ingénieurs,
Assistants Ingénieur, Techniciens, Doctorants et
Stagiaires.
En nombre limité !
En respectant certaines règles…
2. Domaines d’activités
Physico-Chimie des Matériaux
 Procédés technologies
 Caractérisations MEB et AFM
 Couplage optique et assemblage
 Caractérisations optiques

3. Présentation de la salle blanche (son fonctionnement) :
Flux d'air dans la salle blanche

Flux d'air de type
turbulent

Flux d'air laminaire dans
la salle blanche
Fonctionnement de la salle blanche
Salle blanche
Flux laminaires
Doigt gris
Couloir
de visite
Salle des gaz
Recyclage
de l’air
Récupération
des fluides
Équipements
hors SB
Plancher
perforé

Entretien et contrôle réguliers…

Les salles blanches sont en surpression par rapport à la
pression atmosphérique pour éviter que divers polluants
(poussières, bactéries...) puissent entrer que l'on retrouve
principalement dans l'industrie pharmaceutique et
électronique ;

L'entrée et la sortie se font par l'intermédiaire d'un ou
plusieurs sas, …
Description :
Pièce à atmosphère et empoussièrement contrôlés, en légère
surpression par rapport à l’extérieur.

Une classe 10000 veut dire qu’il y a moins de 10000
particules de 0.5 µm par pied cube d’air.

1 pied cube = 0.028 316 846 592 mètre cube
(ou 1 mètre cube = 35.314666721489 pied cube)
Règles générales
1ère
source de contamination: l’utilisateur lui même:
habillement adapté, nettoyage du matériel entrant,
hygiène, comportement adéquate.
Aménagements
techniques associés:
Un local de fabrication d’eau désionisée, un
local de stockage des bouteilles de gaz,
Un compresseur d’N2 gazeux installé à
l’extérieur.
Les systèmes de ventilation, filtration et
humidification.
Les paramètres tels que la température (22°C),
l’humidité (50-60%) et la pression relative sont
également maintenus à un niveau précis.

Particules générées par l’homme
Nombre de particules de taille égale ou supérieure à 0.3 µm
générées par minute d’activité humaine :
rester assis
mouvements tête + bras + cou + jambes
+ mouvements des pieds
s’asseoir
100 000
500 000
1 000 000
2 500 000
marcher à 3 Km/h
5 000 000
marcher à 5 Km/h
7.5 000 000
courir à 8 Km/h
10 000 000
Il est donc essentiel de contrôler notre tendance naturelle à
générer des particules !
Classification standard
classe
0.1 µm
0.2 µm
ISO1
10
2
ISO2
100
ISO3
(particules/m3)
0.3 µm
0.5 µm
1 µm
5 µm
24
10
4
1000
237
102
35
8
ISO4
10000
2 370
1 020
352
83
ISO5
100000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO6
1000000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO7
352 000
83 200
2 930
ISO8
3 520 000
832 000
29 300
ISO9
35 200
000
8 320 000
293 000
4. Moyens matériels
Salle blanche Classe 10.000
- Gravure RIE (Nextral).
- Profilomètre (Dektak).
- Pulvérisation Cathodique RF / DC (Plassys).
- Microscopes optiques…
Salle blanche Classe 100
- Spin coating (Suss microtech).
- Gravure humide (Si, SiO2, Au, Al,…).
- Microscopes optiques.
- Aligneur de masque 4’’ (Suss microtech).
- Cleaner (Suss microtech).
- Dip coating…
5.Technologies employées :
Procédé de fabrication des guides optiques
polymères- photolithographie classique
1- Dépôt
Photorésine
3- Gravure humide
cœur en polymère
Gaine
4- Gravure RIE, ou sèche
2Exposition
UV
5- Dépôt du superstrat