ersatzteilliste / spare parts list trivac® bcs d 40 bcs d 65 bcs
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ERSATZTEILLISTE / SPARE PARTS LIST ET01301_14 TRIVAC® BCS D 40 BCS D 65 BCS Drehschieber-Vakuumpumpe Rotary Vane Vacuum Pump Pompe rotative à vide à palettes mit Standard-Dichtungen, für Mineralöl wie z.B.: N62 with standard seals, for mineral oil like, for example: N62 avec joints standards, pour huile minérales telles que p.ex. N62 mit Viton (schwarz)-Dichtungen, für Betriebsmittel wie z.B.: PFPE with Viton (black) seals, for operating agents like, for example: PFPE avec joints en Viton (noir), pour lubrifiants tels que p.ex. PFPE Gültig ab: 1. November 2007 Valid from: November 1, 2007 vacuum 2 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum Pos. A Stückzahl / Quantity Nombre de pièces BCS - PFPE BCS-N 62 D40 D65 D40 D65 1 1 B C 1 1 1 1 1 Ersatzteil Kits / Spare Parts Kits TRIVAC D 40-65 BCS Benennung Description C Spare part kit for the exchange Kit joint radial of the radial shaft seal (comprend tout le matériel (beinhaltet alle notwendigen Dichtungen und Kleinteile) (includes all material needed) nécessaire) kleines Wartungs Kit minor Maintenance Kit Kit maintenance mineur für die einfache Wartung (beinhaltet alle notwendigen Dichtungen, kein Öl) (includes all seal, no oil) (comprend tous les joints, hors huile) großes Wartungs Kit major Maintenance Kit großes Wartungs Kit 1 major Maintenance Kit beinhaltet alle notwendigen Verschleiß includes all wear and sealing parts und Ersatzteile für die große Wartung, needed for a major maintenance, kein Öl no oil C großes Wartungs Kit 1 major Maintenance Kit beinhaltet alle notwendigen Verschleiß includes all wear and sealing parts und Ersatzteile für die große Wartung, needed for a major maintenance, kein Öl no oil C 1 Désignation Ersatzteil Kit für den Simmeringwechsel beinhaltet alle notwendigen Verschleiß includes all wear and sealing parts und Ersatzteile für die große Wartung, needed for a major maintenance, kein Öl no oil großes Wartungs Kit major Maintenance Kit Kit maintenance majeure EK 110 002 643 EK 110 002 624 EK110 002 637 (comprend toutes les pièces d'usures et joints nécessaires pour un entretien majeur, hors huile) Kit maintenance majeure EK 110 002 638 (comprend toutes les pièces d'usures et joints nécessaires pour un entretien majeur, hors huile) Kit maintenance majeure EK 110 002 641 (comprend toutes les pièces d'usures et joints nécessaires pour un entretien majeur, hors huile) Kit maintenance majeure beinhaltet alle notwendigen Verschleiß includes all wear and sealing parts und Ersatzteile für die große Wartung, needed for a major maintenance, kein Öl no oil (comprend toutes les pièces d'usures et joints nécessaires pour un entretien majeur, hors huile) D 1 1 Dichtungssatz N 62 Set of seals N 62 Jeu de joints N 62 S 1 1 Kleinteile-Kit Small Part Kit Kit petites fournitures 1 Ersatzpumpmodul Ersatzpumpmodul Pumping module Pumping module Corps de pompe Corps de pompe 1 Bestell-Nr. Ref. No. Réf. EK 110 002 642 197 42 EK 110 002 651 E 200 39 758 E 200 39 760 C,D (1620) 1650 610 S(1070) 890 A,B,C,D 880 860 only on PFPE pumps (1060) 870 C(1421) C,D(1140) C,D(790) 780 S(770) C(1120) C,D(1110) 1090 830 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum S(1080) 810 S(800) C,D(820) C,D(670) C,D(660) 650 S(640) S(630) S(620) S(1500) 1490 1020 Abb./Fig. 1 TRIVAC D 40-65 BCS mit Gasballasteinrichtung / with gasballastvalve / avec robinet de lest d’air C (1030) 1040 1050 3 4 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum B,C,D(1420) only on PFPE pumps 1010 S (1440) S(540) C,D(1430) S(1340) 1330 1310 C(1421) 530 520 S(1450) 510 C,D (500) S(760) 460 B,C,D (450) 490 not on PFPE pumps S (1560) only N 62 Abb./Fig. 2 TRIVAC D 40-65 BCS C,D 1550 (1410) 1520 S (1460) 690 C,D C,D 750 C (700) (710) (1610) S(3 S(2 0 33 0) 0 35 0) D( 30 0) C( 220 23 39 0) 0 40 0) 0 25 0) 27 0 ) 24 0) 37 0 0) 2000 90 ) A,C(580) 10 ) S(170) 30 g 28 C(2 C( 32 C( C, S( 36 C( 38 S( S( S( 60 ) 410 S(430) ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum 420 S(440) S(570) S (70) S (60) C,D (50) 40 S C,D (30) (20) S(260) 10 80 A A, D( 90 ,C 12 ) ,C 14 C, D( 0 A 1 ,C ,D 1 A 10 ,D( (130) ,C , 16 0 A 50 0) Abb./Fig. 3 Pumpmodul D 40-65 BCS Pump module D 40-65 BCS Corps de pompe D 40-65 BCS ) (5 50 ) S( 19 S( 0) 20 A, 0) C( 14 80 ) 5 6 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum Pos. Stückzahl / Quantity Nombre de pièces BCS - PFPE BCS-N 62 D40 D65 D40 D65 10 20 30 40 50 60 70 80 90 110 120 130 140 150 160 170 190 200 220 220 230 240 250 260 270 280 280 290 300 310 310 320 330 350 360 370 370 380 380 390 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 3 1 1 1 2 1 1 4 2 1 1 1 1 4 4 4 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 3 1 1 1 2 1 1 4 2 1 1 1 1 7 7 7 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 3 1 1 1 2 1 1 4 2 1 1 1 1 4 4 4 1 2 1 1 4 2 1 1 1 1 7 7 7 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 3 1 1 1 2 1 1 2 2 Bestell-Nr. Ref. No. Réf. TRIVAC D 40-65 BCS Benennung Lagerstück Dichtnippel Druckfeder Steuerkolben Dichtung Steuerkolben Scheibe Sicherungsring Gerotor O-Ring Zentrierscheibe Innenring O-Ring Preßscheibe Radial-Dichtring Halteblech Zylinderschraube Spannscheibe Zylinderschraube VV-Anker VV-Anker Schieber Paßfeder Paßfeder Zylinderstift Zylinderstift VV-Ring VV-Ring Druckfeder Rückschlagventil Düse 0,2 Düse 0,15 Hubfänger Ventilplatte Zylinderschraube Zwischenscheibe HV-Ring HV-Ring Anker Anker Zylinderstift Description Front bearing Plug seal Compression spring Control piston Gasket control piston Disc Retainer ring Gerotor O-ring Centering disc Inner ring O-ring Pressed disc Radial shaft seal Supporting plate Cylinder screw Clamping disc Cylinder screw Rotor forestage Rotor forestage Vane Key Key Cylindrical pin Cylindrical pin Pump cylinder forestage Pump cylinder forestage Compression spring Non-return valve Nozzle 0.2 Nozzle 0.15 Valve stop Valve plate Cylinder screw Intermediate bearing plate Pump cylinder HV-stage Pump cylinder HV-stage Rotor Rotor Cylindrical pin Désignation Flasque d’accouplement Joint soupape Ressort de pression Piston de réglage Joint piston de réglage Disque Circlip Gerotor Joint torique Disque d’centrage Joint intérieur Joint torique Disque d’pression Joint radial Plaque de retenue Vis à tête cylindrique Disque de serrage Vis à tête cylindrique Rotor primaire Rotor primaire Palette Clavette Clavette Goupille cylindrique Goupille cylindrique Cylindre primaire Cylindre primaire Ressort de pression Clapet de retenue Gigleur 0,2 Gigleur 0,15 Amortisseur Platine soupape Vis à tête cylindrique Rondelle Cylindre vide poussé Cylindre vide poussé Rotor Rotor Goupille cylindrique E301 51 147 ES239 73 146 (incl. 5 pieces) E221 61 040 ES321 06 152 (incl. 2 pieces) E200 10 734 ES221 02 035 (incl. 5 pieces) ES231 04 009 (incl. 10 pieces) E321 66 159 E239 70 223 E200 39 117 E231 92 034 ES239 70 016 (incl. 10 pieces) E231 92 033 ES200 39 118 (incl. 2 pieces) 200 09 212 Kits / Bemerkungen Kits / Notes Kits / Remarques C, D S C, D S S A, C, D A, C, D A, C, D A, C, D S S S E321 66 171 E321 66 170 ES200 10 652 (incl. 2 pieces) C ES221 16 025 (incl. 10 pieces) S ES221 16 026 (incl. 10 pieces) S S S E231 92 025 E231 92 024 E221 61 031 C ES348 61 028 (incl. 10 pieces) C, D ES393 50 019 (incl. 3 pieces) S ES200 10 086 (incl. 3 pieces) S E200 11 376 E200 11 245 C C E261 51 139 E231 92 019 E231 92 018 E321 66 165 E321 66 164 S Pos. Stückzahl / Quantity Nombre de pièces BCS - PFPE BCS-N 62 D40 D65 D40 D65 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum 400 400 410 420 430 430 440 450 460 490 500 510 520 530 540 550 570 580 610 620 630 640 650 660 670 690 700 710 750 760 770 780 790 790 800 810 820 830 860 870 2 2 1 1 1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 8 4 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 8 4 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 2 2 2 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 8 4 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 8 4 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 2 Bestell-Nr. Ref. No. Réf. TRIVAC D 40-65 BCS Benennung Schieber Schieber Endscheibe Überdruckventil Düse 2,1 Düse 1,5 Zylinderschraube Formfilter Rahmen Stehbolzen O-Ring Dichtscheibe Druckfeder Spannscheibe Zylinderschraube Scheibe Scheibe Fett-Tube Kupplungsgehäuse Zylinderschraube Halteblech Druckfeder Kolben O-Ring Dichtelement S/D Kolben Ventilteller O-Ring Stutzen Zylinderschraube Zylinderschraube Deckel Dichtung Dichtung Schneidschraube Blende O-Ring Stopfen Gerätesteckdose Schraube Description Vane Vane End plate Pressure valve Nozzle 2.1 Nozzle 1.5 Cylinder screw Internal demister Frame Stud bolt O-ring Sealing disk Split spring Clamping disc Cylinder screw Washer Washer Grease tube Coupling housing Cylinder screw Supporting plate Compression spring Piston O-ring Seal Piston Valve plat O-ring Connecting port Cylinder screw Cylinder screw Cover Gasket Gasket Tapping screw Shutter O-ring Bolt Plug-socket Screw Désignation Palette Palette Plaque limite Soupape de pression Gigleur 2,1 Gigleur 1,5 Vis à tête cylindrique Filtre Châssis Boulon fileté Joint torique Disque d’étanchéité Ressort de pression Disque de serrage Vis à tête cylindrique Rondelle Rondelle Tube de graisse Carter d’accouplement Vis à tête cylindrique Plaque de retenue Ressort de pression Piston Joint torique Joint Piston Platine soupape Joint torique Raccord d’admission Vis à tête cylindrique Vis à tête cylindrique Couvercle Joint Joint Vis autotaraudeuse Diaphragme Joint torique Goupille Prise de courant Vis ES200 10 886 (incl. 2 ES200 10 653 (incl. 2 E351 11 012 E401 75 023 ES393 50 018 (incl. 3 ES393 50 007 (incl. 3 Kits / Bemerkungen Kits / Notes Kits / Remarques pieces) C pieces) C pieces) S pieces) S C ES390 26 014 (incl. 5 pieces) B, C, D 200 09 224 E201 03 010 ES239 70 305 (incl. 10 pieces) C, D ES200 09 135 (incl. 2 pieces) 200 09 118 401 57 311 S ES200 39 108 (incl. 10 pieces) A, C S 200 39 125 A, C 200 09 359 S S ES221 61 041 (incl. 10 pieces) S 321 06 151 ES239 70 147 (incl. 10 pieces) C, D ES348 61 029 (incl. 10 pieces) C, D E321 06 155 ES400 50 140 (incl. 2 pieces) C, D E239 70 223 C, D ES200 09 215 (incl. 2 pieces) S S 200 10 068 ES200 10 745 (incl. 10 pieces) C, D C, D S ES200 09 335 (incl. 5 pieces) ES239 70 008 (incl. 10 pieces) C, D ES200 09 447 (incl. 2 pieces) 7 8 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum Pos. Stückzahl / Quantity Nombre de pièces BCS - PFPE BCS-N 62 D40 D65 D40 D65 880 890 930 1010 1010 1020 1030 1040 1040 1050 1060 1070 1080 1090 1110 1120 1140 1310 1310 1330 1340 1410 1420 1420 1421 1430 1440 1450 1460 1480 1490 1500 1520 1550 1 1 1 1 1 1 1 1 3 3 4 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 3 3 4 1 1 1 1 1 1 1 4 1 4 1 14 1 6 4 2 1 1 4 4 1 14 1 6 4 2 1 1 4 4 4 1 1 1 1 1 1 1 1 3 3 4 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 3 3 4 1 1 1 1 1 1 1 4 1 1 1 4 1 1 1 6 4 2 1 1 4 4 1 6 4 2 1 1 4 4 4 Bestell-Nr. Ref. No. Réf. TRIVAC D 40-65 BCS Benennung Gerätestecker Thermopille Scheibe Ölkasten Ölkasten Exzenter O-Ring Welle Welle Knebel Dichtring Verschlußschraube Zylinderschraube Rahmen O-Ring Ölschauglas Dichtung Motor Motor Zwischenflansch Zylinderschraube Dichtung Dichtung Dichtung Distanzring Dichtung Zylinderschraube Zylinderschraube Kerbstift Zahnkranz Pumpenfuß Zylinderschraube Fuß Zuganker Description Plug Thermal switch Disc Oil casing Oil casing Cam O-ring Shaft Shaft Lever Gasket ring Plug screw Cylinder screw Frame O-ring Oil level glass Gasket Motor Motor Motor connect flange Cylinder screw Gasket Gasket Gasket Spacer ring Gasket Cylinder screw Cylinder screw Grooved pin Toothed ring Pump base Cylinder screw Foot Tie rod Désignation Fiche de prise Thermorupteur Disque Carter d’huile Carter d’huile Excentrique Joint torique Arbre Arbre Levier Joint Bouchon de fermeture Vis à tête cylindrique Châssis Joint torique Niveau d’huile Joint Moteur Moteur Contrebride moteur Vis à tête cylindrique Joint Joint Joint Bague décartement Joint Vis à tête cylindrique Vis à tête cylindrique Goupille cannelée Jante dentée Socle de pompe Vis à tête cylindrique Pied Tirant Kits / Bemerkungen Kits / Notes Kits / Remarques ES221 02 036 (incl. 10 pieces) 281 53 015 ES239 70 108 (incl. 10 pieces) C ES281 53 014 (incl. 10 pieces) ES239 55 165 (incl. 10 pieces) A, B, C, D ES201 27 105 (incl. 5 pieces) S S E200 10 043 E239 50 121 C, D E350 01 179 C E200 39 131 C, D E380 66 012 3~ , 218-242 / 380-420 V, 240-277 / 414-480 V, 200 10 412 3~ , 190-210 / 330-400 V, 190-230 / 330-400 V, E200 09 126 S E200 10 744 C, D E200 10 741 B, C, D B, C, D C ES200 10 743 (incl. 10 pieces) C, D S S S E200 09 095 A, C 200 10 044 S ES370 52 204 (incl. 8 pieces) 101 20 013 50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz Pos. Stückzahl / Quantity Nombre de pièces BCS - PFPE BCS-N 62 D40 D65 D40 D65 1550 1560 1600 1610 1620 1650 1770 2000 4 4 1 1 2 2 4 1 4 1 1 2 2 4 1 4 4 1 1 2 2 4 1 4 1 1 2 2 4 1 Bestell-Nr. Ref. No. Réf. TRIVAC D 40-65 BCS Benennung Zuganker Sechskantmutter Zentrierring Schmutzfänger O-Ring Spannring Zylinderschraube Kupplung Description Tie rod Hexagon nut Centering ring Dirt trab O-ring Clamping ring Cylinder screw Coupling Désignation Tirant Ecrou hexagonal Anneau de centrage Piège à impuretes Joint torique Collier de fermeture Vis à tête cylindrique Accouplement Kits / Bemerkungen Kits / Notes Kits / Remarques 101 20 011 S E411 70 121 C ES239 70 516 (incl. 10 pieces) C, D 183 43 S 570 42 006 ET01301_14 - 10/2007 - © by Oerlikon Leybold Vacuum 9 Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Europa Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D-50968 Köln Tel.: +49-(0)221-347 1234 Fax: +49-(0)221-347 1245 [email protected] www.oerlikon.com Belgien Oerlikon Leybold Vacuum Nederland B.V. Belgisch bijkantoor Leuvensesteenweg 542-9A B-1930 Zaventem Sales: Tel.: +32-2-711 00 83 Fax: +32-2-720 83 38 [email protected] Service: Tel.: +32-2-711 00 82 Fax: +32-2-720 83 38 [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum GmbH VB Nord/Nordost Niederlassung Berlin Buschkrugallee 33 1. Obergeschoss D-12359 Berlin Tel.: +49-(0)30-435 609 0 Fax: +49-(0)30-435 609 10 [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum GmbH VB Süd/Südwest Niederlassung München Sendlinger Straße 7 D-80331 München Tel.: +49-(0)89-357 33 9-10 Fax: +49-(0)89-357 33 9-33 [email protected] service.vacuum.mn @oerlikon.com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH VB West & Benelux Niederlassung Köln Bonner Straße 498 D-50968 Köln Tel.: +49-(0)221-347 1270 Fax: +49-(0)221-347 1291 [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Service Competence Center Emil-Hoffmann-Straße 43 D-50996 Köln-Sürth Tel.: +49-(0)221-347 1439 Fax: +49-(0)221-347 1945 [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Mobil Customer Service Emil-Hoffmann-Straße 43 D-50996 Köln-Sürth Tel.: +49-(0)221-347 1765 Fax: +49-(0)221-347 1944 [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum France S.A. Valence Factory 640, Rue A. Bergès - B.P. 107 F-26501 Bourg-lès-Valence Cedex Tel.: +33-4-75 82 33 00 Fax: +33-4-75 82 92 69 [email protected] Großbritannien Oerlikon Leybold Vacuum UK Ltd. Unit 2 Silverglade Business Park Leatherhead Road UK-Chessington, Surrey KT9 2QL Sales: Tel.: +44-13-7273 7300 Fax: +44-13-7273 7301 [email protected] Service: Tel.: +44-20-8971 7030 Fax: +44-20-8971 7003 [email protected] Italien Oerlikon Leybold Vacuum Italia S.p.A. 8, Via Trasimeno I-20128 Mailand Sales: Tel.: +39-02-27 22 31 Fax: +39-02-27 20 96 41 [email protected] Service: Tel.: +39-02-27 22 31 Fax: +39-02-27 22 32 17 [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum Italia S.p.A. Field Service Base Z.I. Le Capanne I-05021 Acquasparta (TR) Tel.: +39-0744-93 03 93 Fax: +39-0744-94 42 87 [email protected] Niederlande Oerlikon Leybold Vacuum Nederland B.V. Proostwetering 24N NL-3543 AE Utrecht Sales und Service: Tel.: +31-(30) 242 6330 Fax: +31-(30) 242 6331 [email protected] [email protected] Schweden Oerlikon Leybold Vacuum Scandinavia AB Box 9084 SE-40092 Göteborg Sales und Service: Tel.: +46-31-68 84 70 Fax: +46-31-68 39 39 [email protected] Besuchs-/Lieferadresse: Datavägen 57B SE-43632 Askim Schweiz Oerlikon Leybold Vacuum Schweiz AG Leutschenbachstraße 55 CH-8050 Zürich Sales: Tel.: +41-044-308 40 50 Fax: +41-044-302 43 73 [email protected] Service: Tel.: +41-044-308 40 62 Fax: +41-044-308 40 60 [email protected] Spanien Oerlikon Leybold Vacuum Spain, S.A. C/. Huelva, 7 E-08940 Cornellà de Llobregat (Barcelona) Sales: Tel.: +34-93-666 46 16 Fax: +34-93-666 43 70 [email protected] Service: Tel.: +34-93-666 49 51 Fax: +34-93-685 40 10 [email protected] Amerika USA Oerlikon Leybold Vacuum USA Inc. 5700 Mellon Road USA-Export, PA 15632 Tel.: +1-724-327-5700 Fax: +1-724-325-3577 [email protected] Sales: Eastern & Central time zones Tel.: +1-724-327-5700 Fax: +1-724-333-1217 Pacific, Mountain, Alaskan & Hawaiian time zones Tel.: +1-480-752-9191 Fax: +1-480-752-9494 Service: Tel.: +1-724-327-5700 Fax: +1-724-325-3577 LV_09384_2007 10.07 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, Dresden Zur Wetterwarte 50, Haus 304 D-01109 Dresden Service: Tel.: +49-(0)351-88 55 00 Fax: +49-(0)351-88 55 041 [email protected] Frankreich Oerlikon Leybold Vacuum France S.A. 7, Avenue du Québec Z.A. Courtaboeuf 1 - B.P. 42 F-91942 Courtaboeuf Cedex Sales und Service: Tel.: +33-1-69 82 48 00 Fax: +33-1-69 07 57 38 [email protected] Asien Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D-50968 Köln Tel.: +49-(0)221-347 0 Fax: +49-(0)221-347 1250 [email protected] Volksrepublik China Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin) International Trade Co. Ltd. Beichen Economic Development Area (BEDA), Shanghai Road Tianjin 300400 China Sales und Service: Tel.: +86-22-2697 0808 Fax: +86-22-2697 4061 Fax: +86-22-2697 2017 [email protected] [email protected] Japan Oerlikon Leybold Vacuum Japan Co., Ltd. Headquarter 23-3, Shin-Yokohama 3-chome Tobu A.K. Bldg. 4th Floor Kohoku-ku Yokohama-shi 222-0033 Sales: Tel.: +81-45-471-3330 Fax: +81-45-471-3323 [email protected] [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin) Co. Ltd. Beichen Economic Development Area (BEDA), Shanghai Road Tianjin 300400 China Sales und Service: Tel.: +86-22-2697 0808 Fax: +86-22-2697 4061 Fax: +86-22-2697 2017 [email protected] [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum Japan Co., Ltd. Osaka Sales Office 5-13, Kawagishi-machi Suita-chi Osaka 564-0037 Tel.: +81-6-6393-5211 Fax: +81-6-6393-5215 [email protected] [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin) International Trade Co. Ltd. Shanghai Branch: Add: No.33 76 Futedong San Rd. Waigaoqiao FTZ Shanghai 200131 China Sales und Service: Tel.: +86-21-5064-4666 Fax: +86-21-5064-4668 [email protected] [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin) International Trade Co. Ltd. Guangzhou Office and Service Center 1st F, Main Building Science City Plaza, No.111 Science Revenue, Guangzhou Science City (GZSC) 510663, Guangzhou, China Sales: Tel.: +86-20-8723-7873 Tel.: +86-20-8723-7597 Fax: +86-20-8723-7875 [email protected] [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin) International Trade Co. Ltd. Beijing Branch: 1-908, Beijing Landmark Towers 8 North Dongsanhuan Road Chaoyang District Beijing 100004 China Sales: Tel.: +86-10-6590-7622 Fax: +86-10-6590-7607 [email protected] Indien Oerlikon Leybold Vacuum India Pvt Ltd. EL-22, J Block MIDC Bhosari Pune 411026 India Sales und Service: Tel.: +91-20-3061 60000 Fax: +91-20-2712 1571 [email protected] [email protected] Oerlikon Leybold Vacuum Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center Kogyo Danchi 21, Kasuminosato, Ami-machi, Inashiki-gun Ibaraki-ken, 300-0315 Service: Tel.: +81-298 89 2841 Fax: +81-298 89 2838 [email protected] [email protected] Korea Oerlikon Leybold Vacuum Korea Ltd. 3F. 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